光學輪廓儀

澤塔Zeta-300基礎信息

型號：Zeta-300

產(chan) 品：/表麵輪廓測試係統

品牌：Zeta澤塔

簡介：的3D成像及測試係統（為(wei) 用戶量身打造的表麵輪廓測量設備，是表麵量測領域的選擇）

澤塔Zeta-300儀(yi) 技術規格

Zeta-300產(chan) 品尺寸(mm)

係統(長X寬X高)：510x725x773

主機：381x457x102

顯示器：596x449x240

總重量：145lbs/65kg

Zeta-300性能配置 

3D成像:~1秒/點(ZiC)~10秒/點(ZSi)~25秒/點(ZDot)

像素分辨率:0.09μm(0.5x耦合鏡配合100x物鏡)

***小Z軸步距:2nm(壓電陶瓷載台)13nm(Z軸精密絲(si) 杠傳(chuan) 動)

Z軸分辨率：0.5(ZSi)

13nm(Zdot)

重複性3：7nm(1σ)

Zeta-300係統配置 

相機選項：640x480,1024x768,1280x960

總放大率：35,000x(光學和數字放大)

係統光源：3個(ge) 大功率白光LED

自動載台：150mmx150mm(XY方向)

Z軸測試範圍：40mm

澤塔Zeta-300特點

多功能光學測試模組

·Zeta-300測試係統提供多種光學測試技術，滿足用戶各種領域的測試需求：

·ZdotTMZ點陣3維成像技術，是Zeta所有係列產(chan) 品的標配技術

·ZIC幹涉反襯成像技術，實現亞(ya) 納米級粗糙度表麵的成像及量化分析

·ZSI白光差分幹涉技術，搭配任意物鏡實現Z方向超高分辨率的測量能力

·Zx5白光幹涉技術。保證Z方向高分辨率測量的同時，提供大視野範圍內(nei) 的測量和統計分析

測試速度快：1分鍾內(nei) 完成所有類型樣品的3D掃描成像及統計分析，其超高的分辨能力甚至可以對納米級的缺陷進行成像。

操作簡單：自動化測試程序，一鍵式操作過程，測試菜單設置簡單，30分鍾培訓速成，結果輸出直觀。

澤塔Zeta-300應用領域

Zeta-300測試係統支持多功能測試選項，根據客戶實際需求可配備自動化機械手臂、全自動分析軟件等。高精度和高重複性的設備性能是科研和工業(ye) 生產(chan) ***理想的選擇。如下為(wei) 實際應用舉(ju) 例：LED,PSS&缺陷監控，PSS和PR的圖案高度、寬度和周期 AOI缺陷測試，包括平片、PSS片、PR片、外延片 2寸、 4寸和6寸吸真空載台 ，微流體(ti) 和MEMS器件結構分析，透明或半透明的多層結構分析高縱橫比結構分析，如深溝壑、深井狀結構等靈活的測試工具，如cursors和cross-sections

自動化測試軟件包

·多點自動序列量測

·多種不同視場的三維成像

·自動圖像掃描及拚接

·自動傾(qing) 斜度及及波度補償(chang)

·自動參考麵放平自動高度、尺寸、角度和麵積測量。